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  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="無花紋研磨墊"


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    無花紋研磨墊化學機械拋光不同體積濃度及不同溫度研磨液之矽晶圓研磨移除深度理論模擬模式及迴歸模式分析
    • /109/ 碩士
    • 研究生: 蔡鴻霖 指導教授: 鄭逸琳 林榮慶
    • 本研究先建立不同研磨液溫度及不同研磨液體積濃度之無花紋研磨墊化學機械拋光矽晶圓的研磨移除深度理論模擬模式。我們先將矽晶圓浸泡在不同溫度及不同體積濃度研磨液後,接著進行原子力顯微鏡實驗,計算得出浸泡不…
    • 點閱:346下載:0
    • 全文公開日期 2024/07/26 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/07/26 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/07/26 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    研磨液體積濃度變化對無花紋研磨墊化學機械拋光矽晶圓研磨移除深度之理論模擬模式及迴歸模式分析
    • /108/ 碩士
    • 研究生: 吳宗儒 指導教授: 林榮慶
    • 本研究先建立室溫下不同體積濃度之無花紋研磨墊化學機械拋光矽晶圓的研磨移除深度理論模擬模式。我們將矽晶圓浸泡在常溫下不同體積濃度研磨液後,接著進行原子力顯微鏡實驗,計算得出浸泡室溫不同體積濃度…
    • 點閱:264下載:0
    • 全文公開日期 2025/08/10 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    無花紋研磨墊化學機械拋光不同體積濃度及不同研磨顆粒直徑研磨液之矽晶圓接近實驗之平均每分鐘研磨移除深度理論模擬模式及迴歸模式建立和實驗
    • /110/ 碩士
    • 研究生: 羅品翔 指導教授: 周育任 林榮慶
    • 本研究先建立不同研磨液體積濃度及不同研磨液研磨顆粒直徑之無花紋研磨墊化學機械拋光矽晶圓的研磨移除深度理論模擬模式。我們先將矽晶圓浸泡在常溫下不同體積濃度研磨液後,接著進行原子力顯微鏡實驗,計算得出浸…
    • 點閱:224下載:0
    • 全文公開日期 2024/08/31 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/31 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/31 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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